近日,在《中國(guó)科學(xué)報(bào)》上,由中國(guó)科學(xué)院院士、北京大學(xué)電子學(xué)院院長(zhǎng)彭練矛撰文表示:當(dāng)前,云計(jì)算、大數(shù)據(jù)、人工智能、個(gè)性化醫(yī)療和健康監(jiān)控領(lǐng)域,以及未來(lái)數(shù)字化和智慧化的發(fā)展,都離不開(kāi)芯片。毫不夸張地說(shuō),芯片就是現(xiàn)代技術(shù)的驅(qū)動(dòng)力,沒(méi)有芯片就沒(méi)有中國(guó)未來(lái)的現(xiàn)代化。

國(guó)產(chǎn)芯片如何提高品質(zhì)已成破局關(guān)鍵。對(duì)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言,能否提升良率,降低成本是發(fā)展的決定性因素。具有更高純度的超純水是保障芯片良率和高效生產(chǎn)的基石之一,先進(jìn)的水資源利用方案則可以保障公司低成本可持續(xù)發(fā)展戰(zhàn)略的實(shí)施。

芯片品質(zhì)如何提高,制程工藝成關(guān)鍵

芯片廠商為實(shí)現(xiàn)良率趕超,對(duì)整體制造要求十分苛刻,工序繁瑣。即便每道工序良率在99.99%,經(jīng)過(guò)500道工序疊加,最終的良品率也才能超過(guò)95%;同理,如果每道工序的良品率下降至99.98%,最終的總良品率跌降至90%。因此,制程中對(duì)工藝的挑戰(zhàn)要求幾乎“零缺陷”,清洗步驟作為貫穿整個(gè)流程的關(guān)鍵環(huán)節(jié),就成為保證芯片生產(chǎn)良品率主要因素。

據(jù)了解,以60nm制程為例,清洗工藝約有100個(gè)步驟,20nm-5nm等先進(jìn)制程里清洗工藝約有200以上道步驟,隨著工藝制程越高,需要的清洗工藝環(huán)節(jié)越多,清洗頻率也越高;同時(shí)隨著半導(dǎo)體工藝節(jié)點(diǎn)的縮小,整個(gè)清洗步驟次數(shù)約以15%的速度增加，由此可見(jiàn),水質(zhì)的好壞與芯片的良品率和合格率密切相關(guān)。

深耕超純水領(lǐng)域,助力芯片企業(yè)快速發(fā)展

高頻科技在超純水領(lǐng)域深耕二十余年,以科技創(chuàng)新為本,不斷突破關(guān)鍵技術(shù)壁壘,目前已經(jīng)積累知識(shí)產(chǎn)權(quán)成果超50項(xiàng),發(fā)明專(zhuān)利及實(shí)用新型專(zhuān)利超30項(xiàng),軟件著作權(quán)20多項(xiàng)。高頻科技所設(shè)計(jì)研發(fā)的超純水系統(tǒng)涉及超過(guò)18項(xiàng)專(zhuān)業(yè)處理工藝環(huán)節(jié)、8次增壓提升,保證產(chǎn)水水質(zhì)接近絕對(duì)純度,電導(dǎo)率無(wú)限接近18.24MΩ的理論極限值,其純度可達(dá)99.9999999999%,以電子級(jí)高端品系超純水為先進(jìn)制程產(chǎn)品生產(chǎn)提供保障。

憑借深耕純度與水循環(huán)技術(shù),高頻科技助力本土芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展。作為立足于超純工藝能力的工業(yè)級(jí)技術(shù)服務(wù)商,高頻科技通過(guò)提供領(lǐng)先的超純水與循環(huán)再生解決方案及裝備,助力半導(dǎo)體企業(yè)提升良品率和水資源利用效率,實(shí)現(xiàn)高效可持續(xù)發(fā)展,賦能半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)提速發(fā)展;致力于為半導(dǎo)體高端制造等行業(yè)客戶(hù),提供領(lǐng) 先的超純水與循環(huán)再生解決方案及裝備。

高頻科技超純水制備標(biāo)準(zhǔn)如下:電阻率(25攝氏度)≥18.24MΩ·厘米;總有機(jī)碳小于0.5微克/升;溶解氧小于1微克/升;大于0.05微米的微粒每升小于100個(gè);細(xì)菌含量小于1/100毫升;總硅含量小于0.5微克/升;溶解硅含量小于0.3微克/升;硼含量小于0.005微克/升。

在半導(dǎo)體制程中,超純水不僅要求純凈,還要求穩(wěn)定和可靠。任何水質(zhì)的波動(dòng)或變化都可能導(dǎo)致制程的不穩(wěn)定性和產(chǎn)品的不合格。因此,超純水的質(zhì)量控制必須非常嚴(yán)格,包括對(duì)水質(zhì)的監(jiān)測(cè)、調(diào)節(jié)和維護(hù)等方面。如果單純依靠人工管理,無(wú)疑費(fèi)時(shí)費(fèi)力,同時(shí)還難以實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)驅(qū)動(dòng)決策?；诖?高頻科技依托大批自有優(yōu)秀半導(dǎo)體水系統(tǒng)專(zhuān)家的資深經(jīng)驗(yàn),創(chuàng)立標(biāo)準(zhǔn)化運(yùn)維專(zhuān)家模型,為半導(dǎo)體工廠量身定制一體化運(yùn)維服務(wù)體系。借助該系統(tǒng),半導(dǎo)體企業(yè)可以實(shí)現(xiàn)常規(guī)周期巡檢、可預(yù)見(jiàn)養(yǎng)護(hù)、應(yīng)急故障處理等,滿(mǎn)足全周期運(yùn)維需求,實(shí)現(xiàn)規(guī)范管理、降本增效。此體系將逐步實(shí)現(xiàn)專(zhuān)家數(shù)據(jù)化,讓企業(yè)運(yùn)維管理更加省事和舒心,同時(shí)以數(shù)據(jù)化提升決策能力和響應(yīng)速度。

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的重要支撐,也是科技創(chuàng)新的核心驅(qū)動(dòng)力。在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,清洗硅片及半導(dǎo)體材料所使用的超純水,已經(jīng)成為影響電子元器件產(chǎn)品質(zhì)量和成品率的關(guān)鍵材料之一。相信高頻科技在內(nèi)的超純水企業(yè),將繼續(xù)秉持著高度的責(zé)任感和使命感,不斷提升超純水技術(shù)的研發(fā)創(chuàng)新能力,為半導(dǎo)體先進(jìn)制程的可靠性和穩(wěn)定性生產(chǎn)提供支持,為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的全新發(fā)展之路做出新的貢獻(xiàn)。